JRH-10C氫氣凈化機(jī)
JRH—10C型氫氣凈化機(jī)能把工業(yè)氫氣中的O2、H2O等雜質(zhì)除去后得到高純氫。高純氫氣主要應(yīng)用在電子、半導(dǎo)體、冶金、分析等科研和生產(chǎn)部門中。例如高純材料、半導(dǎo)體材料、光電材料和器件的生產(chǎn)等都需要高純氫氣作反應(yīng)氣。
1.1 原料氣體要求
本機(jī)原料氫氣純度≥99.9%;允許氧含量≤3000PPm,水≤1000PPm(即露點(diǎn)低于-20℃),一般瓶裝氫氣均能滿足這些要求。
1.2 純氣技術(shù)指標(biāo)
純氣的****輸出能力 10Nm3/h
純氣中雜質(zhì)含量: O2≤0.5PPm
露點(diǎn)≤-76℃,即H2O≤1PPm
CO+CO2≤0.1PPm
S的氧化物≤0.01PPm
塵埃粒子: ≥0.3µm的固體顆粒物≤3.5個(gè)/升(達(dá)到電子級水平)。
1.3 設(shè)備技術(shù)參數(shù)
工作壓力 ≤1.0Mpa
催化塔工作溫度 室溫
吸附塔工作溫度 室溫;
吸附塔再生溫度 380~420℃
再生用氫氣用量 0.6 L/min(空氣標(biāo)定)
電源: 電壓380V,工作時(shí)0kw;再生時(shí)2.2kw
外型尺寸: 580mm×620mm×1400mm
設(shè)備重量: 230Kg
1) 對原料氫氣要求不高,允許雜質(zhì)氧含量高達(dá)3000ppm,H2O≤1000 ppm,一般瓶裝氫氣均能滿足這些要求。
2) 室溫下工作,不耗電;再生時(shí)耗電、耗氣都較少,故節(jié)約能源。
3) 雙式結(jié)構(gòu),一組工作另一組再生備用,故能長期連續(xù)供氣。
4) 采用多通路閥,在同類產(chǎn)品中閥門**少,故凈化流程合理,操作簡便。
5) 本凈化機(jī)屬于催化再生式,使用失效后可通過再生恢復(fù)活性,故能長期使用。
6) GYH-10C克服了老產(chǎn)品偶爾會產(chǎn)生“假斷偶保護(hù)”使再生不能進(jìn)行的缺點(diǎn)。
7) GYH-10C對再生具有半自動功能,操作更簡單,并且不易出錯(cuò),性能也更穩(wěn)定****。
8) 采用不銹鋼波紋管閥門控制,系統(tǒng)氣密性更好,故障率更低。